新華財(cái)經(jīng)上海3月12日電 工信部等多個部委11日下午召開工業(yè)氣體“卡脖子”問題協(xié)調(diào)工作會議,系統(tǒng)梳理我國工業(yè)氣體現(xiàn)狀,協(xié)調(diào)推進(jìn)解決制約行業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問題。
作為一個工業(yè)細(xì)分行業(yè),工業(yè)氣體廣泛應(yīng)用于鋼鐵、石化等傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),以及電子半導(dǎo)體、醫(yī)療、食品等成長性行業(yè)。
電子氣體最“卡”
“準(zhǔn)確的講,‘卡脖子’的是‘電子大宗氣體’和‘電子特氣’。”對于工業(yè)氣體“卡脖子”問題,原林德集團(tuán)中國區(qū)電子事業(yè)部業(yè)務(wù)總經(jīng)理白久在接受上證報(bào)采訪時介紹,國內(nèi)非電子氣體已經(jīng)具有一定的國際競爭力,但由于技術(shù)和設(shè)備制造能力等因素,國內(nèi)電子氣體的競爭力還比較弱。
華特氣體相關(guān)人員則告訴記者,工業(yè)氣體“卡脖子”主要體現(xiàn)在大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等高端領(lǐng)域,在集成電路領(lǐng)域體現(xiàn)得尤為明顯。
公開資料顯示,在半導(dǎo)體用電子氣體市場中,德國林德集團(tuán)、美國空氣化工、法國液化空氣等公司控制著全球近八成的市場份額,控制了我國近九成的市場份額,我國電子氣體行業(yè)受制于人的局面較為嚴(yán)重。
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為什么被電子氣體“卡脖子”?
“就電子大宗氣體來說,其對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)卡在四個層面?!卑拙媒榻B說,一是外資巨頭在中國只做頭部客戶,對中國新興半導(dǎo)體項(xiàng)目支持度不足,卡了新項(xiàng)目的脖子;第二,中國本土公司在電子大宗氣體項(xiàng)目的技術(shù)方案、項(xiàng)目執(zhí)行、后續(xù)運(yùn)營等環(huán)節(jié)都存在經(jīng)驗(yàn)不足,給動輒投資數(shù)十億上百億的半導(dǎo)體項(xiàng)目帶來很大風(fēng)險(xiǎn);第三,從晶圓廠到存儲器再到第三代化合物,半導(dǎo)體家族不斷擴(kuò)容,對氣體品種需求越來越多,對氣體質(zhì)量要求越來越嚴(yán)苛,本土公司在經(jīng)驗(yàn)不足的情況下又面臨新挑戰(zhàn),難以給出有效的氣體解決方案;第四,中國亟需富有經(jīng)驗(yàn)的國際團(tuán)隊(duì)來開拓本土電子氣體產(chǎn)業(yè),服務(wù)本土晶圓廠。
就電子特氣來說,白久認(rèn)為形勢更嚴(yán)峻?!拔辶N最重要的電子特氣中,我們實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的比例不足1/3?!卑拙梅Q,由于電子特氣具有易燃、易爆、有毒、有害等特性,電子特氣公司在自身技術(shù)水平儲備不足的情況下,還要受到政策法規(guī)等限制要求,往往難以實(shí)現(xiàn)特氣的量產(chǎn)化。
國產(chǎn)化市場空間大
電子氣體的市場有多大?
“電子特氣的全球市場規(guī)模則接近50億美元。”白久表示,在半導(dǎo)體材料中,電子特氣是價(jià)值量占比僅次于硅片的第二大原材料,在全球半導(dǎo)體材料市場的占比約為14%。
東莞證券的研報(bào)顯示,2017年中國的特種氣體市場規(guī)模已達(dá)到約178億元,預(yù)期此后5年將以平均超過15%的年增長率高速增長,到2022年中國特種氣體市場規(guī)模將達(dá)到411億元。
白久告訴記者,正是因?yàn)榭吹搅穗娮託怏w國產(chǎn)化的機(jī)會和市場空白,他招募外資電子氣體從業(yè)人員組建團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立宏芯氣體,期望通過技術(shù)創(chuàng)新和科技研發(fā),打破外資壟斷,填補(bǔ)國內(nèi)空白,服務(wù)本土半導(dǎo)體公司。
多家上市公司有突破
隨著中國集成電路產(chǎn)業(yè)大發(fā)展,我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)也在逐步發(fā)展,華特氣體、金宏氣體、雅克科技等上市公司在一些特氣品種上也取得了一定的進(jìn)展。
華特氣體告訴記者,通過十幾年的研發(fā),公司在高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、光刻氣、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純八氟丙烷、高純一氧化氮等?0個產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。目前,華特氣體已經(jīng)覆蓋了國內(nèi)80%的8英寸晶圓廠。
作為工業(yè)大宗氣體龍頭,金宏氣體也瞄準(zhǔn)了電子氣體,公司上市募投項(xiàng)目之一便是張家港金宏氣體有限公司超大規(guī)模集成電路用高純氣體項(xiàng)目,項(xiàng)目總投資2.1億元。目前,公司的電子特種氣體產(chǎn)品主要包括超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、硅烷混合氣、八氟環(huán)丁烷等。公司在2020年12月公告,公司自主研發(fā)的高純氧化亞氮、超純氨產(chǎn)品近日成功通過中芯國際的稽核認(rèn)證,等待測試。
雅克科技子公司成都科美特在六氟化硫與四氟化碳的生產(chǎn)工藝上具有核心技術(shù)。六氟化硫在國內(nèi)外被廣泛應(yīng)用于電力設(shè)備中的輸配電及控制設(shè)備行業(yè),四氟化碳被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外半導(dǎo)體制造、平板顯示、太陽能薄膜等行業(yè)。